半導(dǎo)體器件分析儀
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產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體器件分析儀
產(chǎn)品型號(hào): B1500A
產(chǎn)品展商: Agilent
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
Agilent B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀（半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/半導(dǎo)體表征系統(tǒng)）是器件表征的綜合解決方案
半導(dǎo)體器件分析儀
的詳細(xì)介紹
- 支持基本的電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測(cè)量以及業(yè)界**的快速脈沖 IV/ 快速 IV / 瞬時(shí) IV 測(cè)量，具備極高的測(cè)量可靠性
- 嵌入式 Windows 7 和功能強(qiáng)大的 EasyEXPERT 軟件借助先進(jìn)的圖形用戶界面（GUI），可讓您執(zhí)行高效、深入、數(shù)據(jù)可恢復(fù)的器件表征。
- 這款*佳表征解決方案可對(duì)器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源元件以及任意電氣器件進(jìn)行各種電氣表征和評(píng)測(cè)。
- 根據(jù)您的測(cè)試需求，模塊化結(jié)構(gòu)可升級(jí)至 10 插槽配置。
**的測(cè)量能力和極高的測(cè)量可靠性
Agilent B1500A 針對(duì)基礎(chǔ)和**器件表征提供以下功能。
| 測(cè)量功能 |
主要技術(shù)指標(biāo)/特性 |
測(cè)量模塊 |
| 電流/電壓（IV）測(cè)量 |
- 電源和測(cè)量范圍高達(dá) 200 V/1 A
- *低測(cè)量分辨率為 0.1 fA / 0.5 µV
- 針對(duì)基礎(chǔ)和** IV 測(cè)量提供點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量等功能
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B1511B /B1511B /B1511B SMU（電源/測(cè)量單元） |
| 準(zhǔn)靜態(tài) CV（QS-CV） |
- **的準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測(cè)量，具有泄露電流補(bǔ)償
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| 采樣測(cè)量 |
- 采樣（時(shí)域）測(cè)量間隔為 100 µs
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B1510A/B1511A/B1517A SMU（電源/測(cè)量單元） |
| 脈沖測(cè)量 |
低至 500 µs |
- 在 500 µs 脈寬、2 μs 分辨率的條件下執(zhí)行脈沖測(cè)量
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| 低至 100 ns |
- 適用于脈沖 IV 和瞬時(shí) IV 的超快速 IV 測(cè)量功能，例如 NBTI/PBTI、RTN（隨機(jī)電報(bào)信號(hào)噪聲）等
- 脈沖測(cè)量，脈寬為 50 μs
- 電源和測(cè)量范圍高達(dá) 30 V / 1 A（0.1 A 直流）
- 支持示波器視圖
- 利用 10 ns 編程分辨率生成波形
- 同時(shí)執(zhí)行高速 IV 測(cè)量（200 MSa/s，采樣率為 5 ns）
- 10V 峰峰值輸出
- 利用動(dòng)態(tài) SMU 技術(shù)，負(fù)載線不會(huì)影響脈沖 IV 測(cè)量的精度
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B1514A 50 µs 脈沖 MCSMU
（中等電流電源/測(cè)量單元）
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| 低至 10 ns |
- 適用于 高 k/SOI 脈沖 IV 的表征解決方案
- 選**沖寬度是 10 ns 至 1 µs，上升和下降時(shí)間*小值為 2 ns
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B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案
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| 脈沖生成 |
- 高壓輸出可達(dá) ±40 V，適用于非易失存儲(chǔ)器測(cè)試
- 為單通道提供二電平和三電平脈沖
- 利用 10 ns 分辨率靈活地生成任意波形（任意線性波形生成功能）
- 每個(gè)模塊具有兩個(gè)通道
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B1525A HV-SPGU（高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元） |
| 交流阻抗（CV）測(cè)量 |
- 交流阻抗測(cè)量（C-V、C-f、C-t）
- 頻率范圍 1 kHz 至 5 MHz
- SMU 提供 25 V 內(nèi)置直流偏置和 100 V 直流偏置
- SCUU 能夠快捷、**地改變 IV 和 CV 自動(dòng)連接
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B1520A MFCMU（多頻率電容測(cè)量單元） |
在研發(fā)的各個(gè)階段中（從探測(cè)到自動(dòng)化）實(shí)現(xiàn)高效、數(shù)據(jù)可恢復(fù)的器件表征
- EasyEXPERT 軟件在嵌入式 Windows 7 中運(yùn)行
- 數(shù)百種測(cè)量程序庫在需要時(shí)即可使用（應(yīng)用測(cè)試）
-15 英寸觸摸屏支持您在器件表征時(shí)采取直觀的操作、分析與探測(cè)
- 自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄特性支持測(cè)試數(shù)據(jù)和測(cè)試條件的恢復(fù)，可使您輕松地進(jìn)行探測(cè)
- 利用曲線追蹤（旋鈕操作）和自動(dòng)記錄特性來實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)交互表征
-EasyEXPERT 的曲線追蹤儀測(cè)試模式通過旋鈕來控制可變掃描，與傳統(tǒng)的曲線追蹤儀類似
-示波器視圖能夠顯示施加到器件中的電壓和電流波形，從而幫助用戶優(yōu)化測(cè)試條件、觀察器件的瞬時(shí)現(xiàn)象
- 利用便捷的在線/離線測(cè)試環(huán)境完成測(cè)試開發(fā)與分析，從而*大限度地發(fā)揮儀器效用
